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洁净隧道用层流罩抗污染干扰的要求

时间:2018-07-25 16:32:14 | 来源: | 作者: admin | 浏览次数:

常规的洁净隧道基本上可分为两个区段,即由层流罩拼装组成的工艺区和供运输及通行的操作通道区。工艺区内为层流罩的单向流送风,操作通道区为乱流送风,工艺区与操作通道区一般用挡板隔开(图14-43)。由于有5级或更高洁净度要求的生产线对污染干扰的高敏感性,这种常规洁净碰道工艺区的沾净区域减小,难于达到规定的洁净级别。这是因为:操作通道中用乱流送风方式,气流易沿顶棚至罩前挡板形成涡流循环污染,特别是操作人员头部发尘污染,会长期滞留其中;挡板下方易发生气流诱导和素乱使操作通道中的污染侵入洁净的工艺区的危险性增加;人在工作时手的操作动作——来同摆动等所造成的干扰,也易使罩内洁净度降低。

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因此,对洁净隧道用层流罩的抗干十扰能力提出以下三个要求:

(1)消除工艺区层流罩前上方角落存在的涡流区,排除从挡板下将污染诱人层流罩内洁净区的可能性。\

(2)如果在层流罩前附近有一定的发尘源,尽快将其排除,不使对层流罩内洁净区形成危险。

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(3)提高抵抗人在罩前活动的干扰(即主要为有一定横向速度的干扰)的能力。

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